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专利名称：
一种用于LIGA技术的光刻胶膜与基片的复合结构的制备方法
英文名称：
专利号：
ZL 201310380360.4
专利类别：
发明专利
专利证书号：
申请号：
201310380360.4
发明人：
伊福廷
其它发明人：
申请日期：
2013-08-28
专利授权日期：
2015-11-11
国外申请日期：
国外申请方式：
缴费情况：
实施情况：
专利摘要：
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